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1.    概述
高效過濾器及其安裝如存在缺陷，如過濾器本身有小孔洞或者安裝不嚴密形成微小裂縫，都會導致達不到預定的凈化效果。因此，高效過濾器安裝或更換后，必須對過濾器和安裝連接處進行檢漏。

2.    檢漏目的
通過測試高效過濾器的泄漏量，發現高效過濾器及其安裝的缺陷所在，以便采取補救措施。

3.    檢漏范圍
潔凈區、層流工作臺以及設備上的高效過濾器等。

4.    檢漏方法
常用的是DOP法檢漏（即采用DOP溶劑作為塵源，與氣溶膠光度計配合檢漏），也可用塵埃粒子計數器掃描法來檢漏（即采用大氣塵作為塵源，與粒子計數器配合檢漏）。由于粒子計數器讀數為累積讀數，不利于掃描，巡檢速度慢；另外，在被測高效過濾器上風側，往往大氣塵濃度較低，需補充發煙才易發現泄漏，粒子計數器法檢漏的的這些不足DOP法恰恰可以彌補，故國外廣泛采用DOP法檢漏。

5.    DOP法檢漏

5.1.    工作原理
在被檢測高效過濾器上風側發DOP氣溶膠作為塵源（DOP即鄰苯二甲酸二辛酯，分子量390.57，噴霧后粒子呈球形狀），在下風側用光度計進行采樣，采集到的空氣樣品通過光度計的擴散室，含塵氣體經過光度計產生的散射光由光電效應和線性放大轉換為電量，并由微安表快速顯示，便可測得氣溶膠的相對濃度。 DOP試驗實際測得的是高效過濾器的穿透率。

5.2.    材料與儀器

①    塵源（DOP溶劑）；

②    DOP發生器[為產生煙霧的裝置，DOP溶劑倒入發生器容器后，在一定壓力或加熱條件下產生氣溶膠煙霧被送入高效過濾器上風側（對DOP液體加熱，形成 DOP蒸汽，蒸汽在特定的條件下冷凝成微小液滴，去掉過大和過小的液滴，僅留下0.3μm左右的顆粒，霧狀DOP進入風道）；

③    氣溶膠光度計（測定和顯示氣溶膠濃度的儀器，應注明校驗有效期，必須是校驗合格且在有效期內的方可使用）；

④    氮氣；

⑤    環氧樹脂硅膠；

⑥    備用的所需型號的高效過濾器

5.3.    檢漏試驗工作程序

5.3.1.    檢漏準備

準備好檢漏所需器材與待檢區域的凈化空調系統送風管道平面布置圖，并通知凈化空調設備公司于檢漏當日到場進行打膠及更換高效過濾器等操作。

5.3.2.    檢漏操作

①    檢查氣溶膠發生器中DOP溶劑的液位是否高于低液位，不足則應添加。

②    連接氮氣瓶與氣溶膠發生器，開啟氣溶膠發生器的溫度開關，至紅燈轉換為綠燈，即表示到溫（約390～420℃）。

③    將測試軟管的一端唄在氣溶膠光度計的上游濃度測試口，另一端置于被檢測高效過濾器的進風側（上游側） [系統檢漏可直接把DOP煙霧放入空調器內（注意不要被空調器內的過濾器吸附了）；若DOP發生器較小，達不到規定的濃度，可放在被測高效過濾器的靜壓箱內，層流工作臺可直接放入風機吸入口]，打開光度計開關，將測試值調節至“100”。

④    打開氮氣開關，壓力控制在0.05～0.15Mpa，緩慢打開氣溶膠發生器的油閥，控制光度計的測試值在10～20，待測試值穩定后輸入該上游測得濃度，即可進行后續的掃描巡檢操作。

⑤    將測試軟管的一端唄在氣溶膠光度計的下游濃度測試口，用另一端即采樣頭掃描過濾器的出風側以及支架，采樣頭離過濾器距離約3～5cm，沿著過濾器內邊框等來回掃描，巡檢速度在5cm/s以下，測試范圍包括過濾器的濾材、濾材與其框架內部的連接、過濾器框架的密封墊和過濾器組支撐框架之間的連接、支撐框架和墻壁或頂棚之間的連接，以檢查過濾器介質中的小針孔和其它損壞、框架密封、墊圈密封以及過濾器構架上的漏縫。

⑥    光度計上的儀表指示值即為高效過濾器的穿透率。當高效過濾器的效率在可接受標準以下，即用環氧樹脂硅膠堵漏或緊固螺栓（必要時暫停發煙更換高效過濾器），然后再進行掃描巡檢，直至儀表指示值在可接受范圍內。

⑦    檢漏應及時填寫記錄，用環氧樹脂硅膠堵漏的應用簡圖標示堵漏點。

5.3.3.    可接受標準

100,000級潔凈區高效過濾器的效率應＞95%（氣溶膠光度計儀表指示值小于5）；

10,000級潔凈區高效過濾器的效率應＞99.97%（即氣溶膠光度計儀表指示值小于0.03）。

6.    說明

6.1.    高效過濾器安裝或更換后必須進行DOP檢漏；10,000級以上潔凈區高效過濾器日常檢漏一般每年一次（無菌區宜半年一次）；潔凈區日常監控中塵粒數、沉降菌、風速等出現顯著異常時，也應檢漏。

6.2.    作為塵源的DOP中含苯環，人們懷疑它有致癌性，美國已找出了一種叫做Emery 3004的替代物，雖然塵源不同但檢漏的原理與方法完全相同。
只有對超凈工作臺高效過濾器經過嚴格的檢測合格后方可投入使用，這樣才能保證在生產、檢驗過程中做到嚴格把關。